等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處(chù)理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝産(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗産(chǎn)品表面，從而實現清潔、改性、光刻、灰化等目的。