薄膜厚度的測量方法都有哪些

薄膜厚度的測(cè)量方法有很多：

按照測(cè)量的方式分可以分爲兩類：直接測(cè)量和間接測(cè)量。直接測(cè)量指應用測(cè)量儀器，通過接觸（或光接觸）直接感應出薄膜的厚度，常見的直接法測(cè)量有
：螺旋測(cè)微法、精密輪廓掃描法（台階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測(cè)量指根據一定對應的物理關系，将相關的物理量經過計算轉化爲薄膜的厚度，從而達到測(cè)量薄膜厚度的目的。常見的間接法測(cè)量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚幹涉法、變(biàn)角幹涉法、橢圓偏振法。

按照測(cè)量的原理可分爲三類：稱量法、電學法、光學法。常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數測(cè)定法；常見的電學法有：電阻法、電容法、渦流法；常見的光學方法有：等厚幹涉法、變(biàn)角幹涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

TF200薄膜厚度測量系統利用薄膜幹涉光學原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。應用領域：

半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠(jiāo)、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞(yà)酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠(jiāo)ITO等）

觸(chù)摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)

汽車(chē)(防霧層(céng)、Hard Coating DLC等）

醫學（聚對二甲苯塗層(céng)球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）